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化學干燥法就是將某種對于水蒸汽具有強烈吸附作用的化學藥品與含水樣品同裝入一個干燥器（玻璃或真空干燥器），通過等溫擴散及吸附作用而使樣品達到干燥恒重，然后根據干燥前后樣品的失重即可計算出其水分含量，此法在室溫下干燥，需要較長時間，幾天、幾十天甚至幾個月。干燥劑有五氧化二磷、氧化鋇、高氯酸鎂、氫氧化鋅、硅膠、氧化氯等。典型的儀器還有將待檢測氣體通過裝有干燥劑的螺旋型玻璃管電解池，而后根據環境溫度、環境壓力和氣樣流量,根據法拉第電解定律和氣體定律可推導出氣體中水含量。
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